在硅片切割中,张力设定过大,钢线运行速度过高,砂浆粘度过低,砂浆流量过低,新线供给过少,造成带砂浆能力下降,钢线磨损量过大,形成断线。工作台进给速度过快,造成钢线弯曲度过大,形成断线。
控制断线问题首先要控制好张力,张力臂系统要定时清洗,保证其运行灵敏,导线轮要定期更换,张力检测装置要定期校正,校正完成后用手动张力计进行校对,保证其张力检测无偏差;其次要购买品质好的钢线,否则会大大增加断线率;最后要使用成熟的切割工艺,其中砂浆配置是一个关键环节。
碳化硅微粉在运输过程中挤压结团,这就要求倒料过程中应慢倒,控制在2.5~3min一袋,避免猛倒造成微粉沉底结块搅拌不均,造成与实际配比不一致,影响切割。碳化硅具有强吸水性,在空气中易受潮结团,应避免微粉裸露在空气中时间过长。
砂浆在配制过程出现了许多的人为因素,很多参数因人为而改变。最好把碳化硅微粉在80~90℃烘箱里,烘8h以上,来优化各项指标。一般来说,手动调配的砂浆需要搅拌6h以上,全自动雾状投入磨粉的,只需搅拌1~2h即可使用。